12月14日,“2024大湾区高能脉冲PVD论坛”在松山湖材料实验室举办。此次论坛由松山湖材料实验室、材料结构精密焊接与连接全国重点实验室联合举办,由高能脉冲PVD电源的领军企业新铂科技东莞有限公司提供支持。
论坛得到了广东省真空学会、深圳市真空技术行业协会、 深圳市真空学会的大力支持,汇集了松山湖材料实验室、华南理工大学、北京大学深圳研究生院、季华实验室、哈尔滨工业大学(深圳)等单位的近20名专家学者上台分享。会议聚焦“高能脉冲磁控”“脉冲弧”等高能脉冲PVD的新电源、新结构、新性能,进而赋能半导体、医疗器械、光学仪器、汽车、航空航天、电子信息等多个领域,吸引了北京大学、浙江大学、中国科学院固体所、中国科学院金属所、中国科学院兰州化学物理研究所、中国散裂中子源、华为公司、OPPO、华星光电、中国航发哈尔滨东安发动机有限公司等近百家企事业单位250多名代表参会。
作为松山湖材料实验室等离子团队的带头人,哈尔滨工业大学田修波教授召集组织了此次论坛。开幕式上,松山湖材料实验室党委副书记/主任助理王玉文、哈工大材料结构焊接与连接全国重点实验室副主任亓钧雷、广东真空学会理事长刘彭义等分别致欢迎辞。基于PVD产业的技术升级,他们呼吁PVD行业要不断创新,在组件制造、工艺和装备等方面加大研发和突破,发挥大湾区PVD产学研生态协同效应,推进PVD相关行业发展。
田修波教授指出,高能脉冲PVD在一定程度上代表着PVD核心技术的未来,基于高能脉冲放电诱导的高密度等离子体有助于膜层结构的精密设计,尤其是复合波形智能控制的脉冲电源,可被称为“膜层的魔术师”,甚至在原子尺度上进行膜层构建。这将大大提高膜层的结合力、致密性以及综合性能,但是高能脉冲电源与传统的电源相比难以控制,给使用者带来很多困扰。
此次论坛不仅对高能脉冲PVD技术的未来走向进行研讨,更是为与会者提供的薄膜底层设计以及等离子体控制方法的深度理解。此外,论坛还强调产研融合、生态发展,不少专家纷纷对PVD的创新技术表达了积极看法,探讨了如何更好地解决PVD行业的问题,探索可能的合作共赢的生态模式,希望协力推动PVD相关产业的技术升级,进而赋能大湾区经济的更快发展。